MEMS传感技术

　　超声波是一种振动频率高于声波的机械波，具有频率高、波长短、绕射现象小，特别是方向性好、可成为射线而定向传播等特点。

　　使用泛林集团Equipment Intelligence ® 应对腔室匹配挑战   作者：资深数据分析师Phillip Jones、沉积工程经理Brian Williams   制造芯片需要很多不一样的工艺设备，包括沉积、光刻、刻蚀和清洁等设备。大规模生产规格要求芯片制造商使用大量相同腔室的设备组来执行特定的工艺步骤，例如用来制造3D晶体管的鳍片刻蚀。理想情况下，设备组中的每个晶圆批次都会得到相同的处理，这在某种程度上预示着每个晶圆腔室的运行过程将与其他所有晶圆腔室完全相同。不过在实际操作

　　如今，在制造、仓储和物流等应用领域中，慢慢的变多AMR自主移动机器人被投入到正常的使用中，帮助用户实现物料运输的自动化，提升内部物流速度，将员工从重复性和危险性的运输工作中解放出来，提高生产力。这些被喻为“智能搬运工”的AMR机器人负载着重物，将货物从收集点运送至指定目的地。通常，我们将需要运送的产品放置在欧式托盘上，并将光电传感器安装在AMR顶部，把传感器正对建筑物的屋顶方向向上安装，在装卸过程中，传感器能可靠检测托盘底座，并准确检测托盘的起点和终点位置。

　　消费者、政策/法规、市场三合力，不断推动 ADAS 渗透率提升。2022 年 3 月国内新车L2级配套量接近 41.6 万，渗透率近 30%。ADAS 成标配，CIS 如何升级?

　　在日语中，Hayabusa的意思是“游隼”，是一种猛禽，有许多明显的自然优势。它们的视力超过了人类，在动物界中拥有最快的视觉。人眼记录静止图像的速度约每秒25帧，而隼鸟的视觉识别速度能接近每秒130帧。像大多数猎鹰一样，隼鸟的每只眼睛都有两个中央凹，而人眼只有一个。因此隼鸟具有卓越的超视觉。除了更好的清晰度以及识别能力之外，这种增强的视力使猎鹰能够日夜狩猎。据此，我们把图像传感器平台命名为它的自然对应物——Hayabusa图像传感器平台。

　　相机已经彻底改变了智能手机、汽车、监控和提供增强现实 （AR） 和虚拟现实 （VR） 功能的小玩意儿。现在，3D 传感器通过同时实时检测和分类各种物体，将这一成像革命提升到一个新的水平。

　　麻省理工学院 （ MIT ） 的研究人员开发了一种将传感器嵌入弹性服装面料中的技术，为在一天中监测体温、呼吸和心率等生命体征铺平了道路。此外，这些合身和嵌入传感器的服装可机洗。

　　传感器包括 TDK 的六轴惯性测量单元 （IMU）（陀螺仪 + 加速度计），带有磁力计、压力、温度、湿度和（可选）超声波传感器。高精度算法包括传感器融合、HVAC过滤器监控、资产监控、手势检测、活动分类、空中鼠标监控和智能门开/关检测。

　　图像传感器的创新不再以提高手机和数码相机市场的相机性能为中心。仅在去年，在先进驾驶辅助系统 （ADAS） 和无人驾驶、机器视觉、安全、3D 以及增强和虚拟现实 （AR/VR） 的推动下，汽车安全应用对更好成像的需求就增加了。 以下是其中一些进展的示例。

　　传感器使智能城市成为可能，从监测环境污染和交通流量到确保健康的办公楼环境。

　　MEMS 制造商正在开发能够大幅度的提高性能的新技术和产品，包括节能功能和片上 AI 的添加。

　　MSD全车硬件设备包括12个摄像头、12个超声波雷达、5个毫米波以及一个辅助型激光雷达，除了辅助传感器激光雷达之外，其他都是可量产的传感器组合，价格可控制在千元级别。

　　新型Mira220图像传感器拥有高量子效率，可搭配使用低功率发射器，无惧昏暗的照明条件。

　　倍加福新推的M18系列圆柱形光电传感器，为广泛的标准应用而设计。该系列拥有三种外壳设计，均提供五种检测模式，配备统一的电气接口，各具功能特色，可灵活应用。

　　传感器从诞生开始，大概经历了结构型、固体型以及智能型三个阶段，前两个阶段的传感器一般由敏感元件、转换元件和变换电路三部分所组成，有时还加上辅助电源。但随着各类科学技术的发展，前两类传感器逐渐不足以满足对数据采集、处理等流程的需求，而融合了软件算法、人工智能技术的智能传感器开始登上历史舞台。

　　生物MEMS与传感器是指采用以MEMS为代表的微纳制造技术实现生物医学应用的传感器、执行器及微系统，其利用生物要素与物理化学检测要素组合在一起对被分析物进行操纵和检测。

　　在这些新应用场景中，通常要求传感器在优异的感测之外，能够考虑易用性以及成本，无需额外电路来偏置感测组件或确定测量温度的数字温度传感器正好契合这些需求，而且数字温度传感器不要进一步校准或线性调校检测信号即可得出可重复且可靠的结果。

　　OV50E 图像传感器采用业界最优秀的 1.0 微米像素尺寸和 1/1.5 英寸光学格式，具有低噪声， 100% 相位检测 和单次曝光高动态范围支持功能，可实现卓越的静态图像和视频拍摄   加利福尼亚，圣克拉拉–2022年7月 29 日– 豪威集团，全球排名前列的先进数字成像、模拟、触屏和显示技术等半导体解决方案开发商，当日发布OV50E图像传感器。这款传感器能为中高端智能手机的后置主摄提供业界领先的低光图像和高动态范围（HDR）视频捕捉能力。OV50E采用的交错式

　　要改变全世界对传染病的检测、诊断和监测，并开发一种能快速得出准确、可靠结果的设备，需要做些什么？